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RR757L15

RR757 該款大氣機械手是搭載絕對編碼器以及步進馬達的SCARA Robot。通過手臂和旋轉(zhuǎn)軸配合的補間動作,

可以不搭配行走軸,獨立對應雙Load port場景的晶圓傳輸。雙臂的構造可以在最短時間內(nèi)進行Wafer置換,從而提高產(chǎn)能。

若搭配行走軸,機械手能控制本體和外部行走軸進行同步動作,示教階段亦可實現(xiàn)。


全軸搭載含ABS編碼器的步進馬達

不搭配行走軸,獨立對應雙Load port場景的晶圓傳輸。


手臂高剛性對應高重量的負載

雙臂構造從而實現(xiàn)高產(chǎn)能

可以控制外部行走軸



手臂/EE: 雙臂
臂長(mm): 156
Z軸行程(mm): 340/410/430
最大傳輸距離(mm)※1: 766
旋轉(zhuǎn)范圍(deg): 330
搬送精度(mm): ±0.1
潔凈度等級: class 1
旋轉(zhuǎn)半徑(deg)※2: R282.5 ~ R335
編碼器規(guī)格: 絕對編碼器

※1 以搬送300mm Wafer為例
※2 根據(jù)Wrist以及EE的長度會有所不同。