RR757 該款大氣機械手是搭載絕對編碼器以及步進馬達的SCARA Robot。通過手臂和旋轉(zhuǎn)軸配合的補間動作,
可以不搭配行走軸,獨立對應雙Load port場景的晶圓傳輸。雙臂的構造可以在最短時間內(nèi)進行Wafer置換,從而提高產(chǎn)能。
若搭配行走軸,機械手能控制本體和外部行走軸進行同步動作,示教階段亦可實現(xiàn)。
全軸搭載含ABS編碼器的步進馬達
不搭配行走軸,獨立對應雙Load port場景的晶圓傳輸。
手臂高剛性對應高重量的負載
雙臂構造從而實現(xiàn)高產(chǎn)能
可以控制外部行走軸