該款為底部可以Purge 氮?dú)猓∟2）的Load Port，采用RORZE特有的Purge 噴嘴，以及通過(guò)Mass Flow Controller（MFC）可以精確地控制N2 Purge流量。
該款也繼承了RORZE標(biāo)準(zhǔn)的Load Port的開關(guān)門方式，可以精密控制FOUP的開關(guān)門動(dòng)作的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)高水平的潔凈度控制。

FOUP 和 Auto FOSB標(biāo)準(zhǔn)化對(duì)應(yīng)

RORZE獨(dú)特的開關(guān)門機(jī)構(gòu)及高精度的動(dòng)作控制，以及高潔凈度控制。

內(nèi)有減少壓力損失的過(guò)濾器

RORZE獨(dú)特的Nozzle設(shè)計(jì)