PLVS/真空平臺是搭載了各種真空機械手，真空Aligner等使用DDM（真空直驅馬達）的驅動模組的真空單體，可以實現(xiàn)位置精度的高再現(xiàn)性，以及優(yōu)越的真空隔絕性能，可以實現(xiàn)高潔凈度的搬送System。以及，可以根據(jù)客戶的需求進行設備單體的組合，可簡易地實現(xiàn)高性能的真空環(huán)境下的搬送，適用于E-Beam Lithography、PVD、CVD、Etch、MR Head Deposition、MEMS、Inspection & Metrology等各種半導體行業(yè)應用。

最合適的System構成

最小的Footprint

高潔凈度控制。

超高真空

高產(chǎn)能