是兼有Stocker功能已經(jīng)通常的生產(chǎn)用Wafer sorter功能的復合型機臺。用小尺寸的占地面積來實現(xiàn)Wafer的分選和收納。
● 可存入600片Wafer，并且可按區(qū)域管理
● 采用高速單體和構造，運用最優(yōu)的傳片方式來進行Wafer分選
● 內(nèi)置的百葉窗結構將Stocker和Sorter內(nèi)部的微環(huán)境隔離
● 有自動Teaching功能縮短Teaching時間
● 可讀取正反兩面的Wafer ID
